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談談安捷倫分子泵的各項特點

更新更新時間:2024-06-22 瀏覽次數:1183

  安捷倫分子泵是一種高速旋轉的機械泵,因此對平衡的要求很高,對固體異物非常脆弱,通常要在分子泵的入口處安裝金屬過濾網。分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。常規(guī)的分子泵使用軸承來確保葉片的高速旋轉。新型的分子泵采用磁懸浮構造,使得葉片轉速不斷提高的同時,更使分子泵適合超高真空系統,也延長了分子泵的使用壽命。
  安捷倫分子泵的各項特點:
  1、清潔無油蒸汽返流
  干式操作:分子泵可以在無任何潤滑油的情況下運行,從而為被抽容器提供一個極為清潔的真空環(huán)境。
  消除碳氫化合物:現代渦輪分子泵通過采用空氣軸承或磁懸浮軸承技術,完q杜絕了油蒸汽返流的問題,確保了工作環(huán)境中不含有任何碳氫化合物。
  2、使用方便
  簡單啟動:渦輪分子泵只需按電鈕即可開始工作,無需高真空或粗真空閥,可以從大氣壓力降z極限壓力。
  靈活安裝:渦輪分子泵的安裝方向不受限制,可在任意方向安裝,占用空間小,適用于安裝位置受限的地方。
  3、氣體輸送能力強
  輕氣體輸送:大多數渦輪分子泵對輕氣體(如氫、氦)的輸送能力很強,特別適用于超高真空下的工藝操作。
  耐腐蝕設計:有專門設計的渦輪分子泵用于抽除腐蝕性氣體,適用于刻蝕、反應離子刻蝕等工藝操作。
  4、超高真空應用的適用性
  高極限真空:一臺密封良好的渦輪分子泵,配以性能良好的前級泵,其極限真空可達到10^-10 Torr(即13.33 nPa)之間。
  滿抽速運轉:與低溫泵或離子泵不同,渦輪分子泵在超高真空條件下仍能滿抽速運轉,這使它在高分辨率質譜儀等設備上得到廣泛應用。
  5、高壓力下性能良好
  穩(wěn)定性強:某些渦輪分子泵的入口壓力可在10^-3^至10^-10^Torr(即13.33 Pa至13.33μPa)之間運行,在這個壓力范圍內,其他類型的泵會變得不穩(wěn)定。
  6、循環(huán)時間短
  快速啟動停止:多數渦輪分子泵在較短時間內(大約3分鐘)即可達到正常運行速度,并且能立即關閉并暴露于大氣壓,這種快速循環(huán)特性在樣品輸入系統中非常有用。
  7、使用壽命長
  抗重氣體負荷和閥門漏氣:在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下,渦輪分子泵的使用時間要比其它泵更長,且不會因泵油污染真空室。

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