看來(lái)你還是不了解分子泵的原理呀!
更新更新時(shí)間:2020-08-04 瀏覽次數(shù):1475
分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械泵,因此對(duì)平衡的要求很高,對(duì)固體異物非常脆弱,通常要在分子泵的入口處安裝金屬過(guò)濾網(wǎng)。分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。 常規(guī)的分子泵使用軸承來(lái)確保葉片的高速旋轉(zhuǎn)。新型的分子泵采用磁懸浮構(gòu)造,使得葉片轉(zhuǎn)速不斷提高的同時(shí),更使分子泵適合超高真空系統(tǒng),也延長(zhǎng)了分子泵的使用壽命。
分子泵的抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同,利用了動(dòng)量傳遞原理,使分子定向流動(dòng)而被排出泵外,從而達(dá)到抽氣的目的。
分子泵在電機(jī)的帶動(dòng)下高速旋轉(zhuǎn),采用變頻電源驅(qū)動(dòng)電機(jī),目的是得到較高的轉(zhuǎn)速。在分子流區(qū)域內(nèi),氣體分子與高速轉(zhuǎn)到的葉片表面碰撞,動(dòng)量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面的運(yùn)動(dòng)方向上,產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外,從而達(dá)到抽氣的目的。通常把用高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子,并使其按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象稱(chēng)為分子牽引現(xiàn)象,利用這一現(xiàn)象制成的真空泵稱(chēng)為牽引分子泵(蓋德泵)。牽引分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)時(shí)間短,在分子流態(tài)下有很高的壓縮比,能抽除各種氣體和蒸氣,特別適于抽除較重的氣體。